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馗鼎等离子清洗设备的清洗原理

2018-07-06  来自: 苏州源永动电子有限公司 浏览次数:216

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  馗鼎等离子清洗北京快乐8设备目前应用于刻蚀硅片边沿的硅鳞层,扩散过程中,不但硅片的表面扩散上了磷,硅片边缘也扩散上了磷,这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路。所以必须将硅片边缘这层被扩散上的硅磷去掉,大概去除1-3um。

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